□本報記者張雙雙本報通訊員李曉琳
“創新是個求變的過程,但過程中,如果沒有百折不撓的韌勁兒,是不會成功的。”2025年德州市“七一”榜樣專題黨課上,山東有研半導體材料有限公司硅片制造部副部長鄭宇有感于自己成長的心路歷程?!罢沁@種對創新的極致追求,在3年時間里我們將產品良品率從80%提升至95%,用‘毫厘之功’在國際市場上打開局面,產品市場占有份額提高了5個百分點?!彼f。
出生于1991年的鄭宇,畢業于燕山大學材料科學與工程學院,2013年10月加入中國共產黨,在山東有研半導體材料有限公司從事集成電路用6英寸、8英寸半導體硅片的科研生產工作。
他自稱是一個扎根德州的“新德州人”。有研集團在德州建設集成電路用大尺寸硅材料生產項目,自生產基地建成后,以鄭宇為代表的硅片制造團隊便來到德州,從設備安裝調試到產品通線量產,一切都是從頭開始。
安裝不易、調試更難。自設備安裝完之后,鄭宇便和十幾名工程師以廠為家,工作臺上堆滿了各類調試數據和參數文檔。經過兩個月晝夜奮戰,他們成功搭建起一條包含切片、倒角、研磨腐蝕、拋光、清洗檢測等30道完整工序的現代化生產線。每道工序精度均控制在1微米以內,相當于頭發絲直徑的八十分之一。
2020年10月,8英寸集成電路用硅片項目通線量產。鄭宇回憶說:“當閃著金屬光澤的硅片在清洗槽中出來的時候,車間里爆發出陣陣歡呼聲,經過大家的不懈努力,我們最終把產品量產時間提前了整整半年?!边@也是德州市重點項目建設的新突破,填補了德州半導體硅材料制造空白。
接下來的3年時間,鄭宇和研發團隊不斷試驗、改進,經過148次參數校準,完成了23項自主設計,最終成功研制出首臺國產硅片清洗機。
他們形象地將這臺設備稱為“爭氣機”,企業自此用上了自主生產的設備,讓硅片生產成本降了一半。
目前,公司研發團隊已將硅片的良品率從80%提升至95%,這背后是團隊夜以繼日的辛勤付出。鄭宇說,硅片的良品率每提升一個百分點都非常難,但同時這一個百分點的提升又將給企業帶來更大的競爭優勢。“我們團隊梳理了全部的工藝參數,把每道工序拆解為成百上千的控制要點。我在研磨臺前連續值守72小時,最終把硅片平整度從3微米壓到0.8微米?!?/p>
鄭宇說,在當前產業競爭持續加劇的背景下,他們將緊盯行業前沿,加快研發創新,持續為德州半導體產業發展作出貢獻。